פחמן טטרה-פלואוריד (CF4)

פרמטרים טכניים

פחמן טטרה-פלואוריד הוא פחמימן הלוגני בעל הנוסחה הכימית CF4. ניתן להתייחס אליו כפחמימן הלוגני, מתאן הלוגני, פרפלואורוקרבון או כתרכובת אנאורגנית. פחמן טטרה-פלואוריד הוא גז חסר צבע וחסר ריח, בלתי מסיס במים, מסיס בבנזן ובכלורופורם. יציב תחת טמפרטורה ולחץ רגילים, יש להימנע מחומרים מחמצנים חזקים, חומרים דליקים או דליקים. זהו גז לא דליק, הלחץ הפנימי של המיכל יגדל בחשיפה לחום גבוה, וקיימת סכנה לסדקים ופיצוץ. הוא יציב מבחינה כימית ואינו דליק. רק ריאגנט נוזלי של מתכת אמוניה-נתרן יכול לפעול בטמפרטורת החדר. פחמן טטרה-פלואוריד הוא גז הגורם לאפקט החממה. הוא יציב מאוד, יכול להישאר באטמוספירה זמן רב, והוא גז חממה חזק מאוד. פחמן טטרה-פלואוריד משמש בתהליך איכול פלזמה של מעגלים משולבים שונים. הוא משמש גם כגז לייזר, ומשמש בנוזלי קירור בטמפרטורה נמוכה, ממסים, חומרי סיכה, חומרי בידוד ונוזלי קירור לגלאי אינפרא אדום. זהו גז האיכול בפלזמה הנפוץ ביותר בתעשיית המיקרואלקטרוניקה. זוהי תערובת של גז טטראפלואורומתאן בעל טוהר גבוה וגז טטראפלואורומתאן בעל טוהר גבוה וחמצן בעל טוהר גבוה. ניתן להשתמש בו באופן נרחב בסיליקון, סיליקון דיאוקסיד, סיליקון ניטריד וזכוכית פוספוסיליקט. איכול של חומרי שכבה דקה כמו טונגסטן וטונגסטן נמצא בשימוש נרחב גם בניקוי משטחים של מכשירים אלקטרוניים, ייצור תאים סולאריים, טכנולוגיית לייזר, קירור בטמפרטורה נמוכה, בדיקת דליפות ודטרגנט בייצור מעגלים מודפסים. משמש כחומר קירור בטמפרטורה נמוכה וטכנולוגיית איכול יבש בפלזמה עבור מעגלים משולבים. אמצעי זהירות לאחסון: יש לאחסן במחסן גז קריר ומאוורר שאינו דליק. יש להרחיק מאש וממקורות חום. טמפרטורת האחסון לא תעלה על 30 מעלות צלזיוס. יש לאחסן בנפרד מחומרים דליקים (דליקים) בקלות ומחמצנים, ולהימנע מאחסון מעורב. אזור האחסון צריך להיות מצויד בציוד לטיפול חירום בדליפות.

בַּקָשָׁה:

① נוזל קירור:

טטרהפלואורומתאן משמש לעיתים כנוזל קירור בטמפרטורה נמוכה.

② חריטה:

הוא משמש בייצור מיקרו-אלקטרוניקה לבד או בשילוב עם חמצן כחומר חריטה בפלזמה עבור סיליקון, סיליקון דו-חמצני וסיליקון ניטריד.

חבילה רגילה:

יִתרוֹן:

①טוהר גבוה, מתקן חדיש;

②יצרן בעל תעודת ISO;

③משלוח מהיר;

④מערכת ניתוח מקוונת לבקרת איכות בכל שלב;

⑤דרישה גבוהה ותהליך קפדני לטיפול בצילינדר לפני המילוי;