סילאן (SiH4)

פרמטרים טכניים

סילאן הוא תרכובת של סיליקון ומימן.זהו כינוי כללי לסדרה של תרכובות, כולל מונוסילאן (SiH4), דיסילאן (Si2H6) וכמה תרכובות סיליקון-מימן ברמה גבוהה יותר.ביניהם, מונוסילאן הוא הנפוץ ביותר, המכונה לעתים בקיצור סילאן.סילאן הוא גז חסר צבע עם ריח מגעיל של שום.מסיס במים, כמעט בלתי מסיס באתנול, אתר, בנזן, כלורופורם, סיליקון כלורופורם וסיליקון טטרכלוריד.המאפיינים הכימיים של סילאנים פעילים הרבה יותר מאלקנים והם מתחמצנים בקלות.בעירה ספונטנית עלולה להתרחש במגע עם אוויר.הוא אינו מגיב עם חנקן מתחת ל-25 מעלות צלזיוס, ואינו מגיב עם תרכובות פחמימנים בטמפרטורת החדר.אש ופיצוץ של סילאן הם תוצאה של תגובה עם חמצן.סילאן רגיש במיוחד לחמצן ולאוויר.סילאן בריכוז מסוים יגיב גם בחומר נפץ עם חמצן בטמפרטורה של -180 מעלות צלזיוס.סילאן הפך לגז המיוחד החשוב ביותר המשמש בתהליכי מיקרו-אלקטרוניקה מוליכים למחצה, והוא משמש להכנת סרטים מיקרו-אלקטרוניים שונים, לרבות סרטי גביש בודדים, מיקרו-גבישים, פולי-גבישיים, תחמוצת סיליקון, ניטריד סיליקון וסיליקידי מתכת.היישומים המיקרו-אלקטרוניים של סילאן עדיין מתפתחים לעומק: אפיטקסיה בטמפרטורה נמוכה, אפיטקסיה סלקטיבית ואפיטקסיה הטרופיטקסיאלית.לא רק עבור התקני סיליקון ומעגלים משולבים סיליקון, אלא גם עבור התקני מוליכים למחצה מורכבים (גליום ארסניד, סיליקון קרביד וכו').יש לו גם יישומים בהכנת חומרי באר קוונטיים סופר-סריג.ניתן לומר שסילאן משמש כמעט בכל קווי ייצור מעגלים משולבים מתקדמים בתקופה המודרנית.היישום של סילאן כסרט וציפוי המכיל סיליקון התרחב מתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה המסורתית לתחומים שונים כגון פלדה, מכונות, כימיקלים ואופטיקה.יישום פוטנציאלי נוסף של סילאן הוא ייצור של חלקי מנוע קרמיים בעלי ביצועים גבוהים, במיוחד השימוש בסילאן לייצור טכנולוגיית מיקרו-אבקת סיליקיד (Si3N4, SiC וכו') משך יותר ויותר תשומת לב.

יישום:

① אלקטרוני:

סילאן מיושם על שכבות סיליקון רב גבישי על פרוסות סיליקון בעת ​​ייצור מוליכים למחצה וחומרי איטום.

②שמש:

סילאן משמש בייצור מודולים פוטו-וולטאיים סולאריים.

③ תעשייתי:

הוא משמש בזכוכית ירוקה חסכונית באנרגיה ומוחל על תהליך שקיעת אדים של סרט דק.

חבילה רגילה:

יתרון:

① יותר מעשר שנים בשוק;

②יצרן תעודת ISO;

③ משלוח מהיר;

④ מקור חומר גלם יציב;

⑤ מערכת ניתוח מקוונת לבקרת איכות בכל שלב;

⑥ דרישה גבוהה ותהליך קפדני לטיפול בצילינדר לפני המילוי;

⑦ טוהר: כיתה אלקטרונית בטוהר גבוה;

⑧שימוש: חומרים לתאים סולאריים;ייצור פוליסיליקון בטוהר גבוה, תחמוצת סיליקון וסיבים אופטיים;ייצור זכוכית צבעונית.