פחמן טטרפלואוריד (CF4)

פרמטרים טכניים

פחמן טטרפלואוריד הוא פחמימן הלוגני בעל הנוסחה הכימית CF4.ניתן להתייחס אליו כפחמימן הלוגני, מתאן הלוגני, פרפלואורי-פחמן או כתרכובת אנאורגנית.פחמן טטרפלואוריד הוא גז חסר צבע וריח, בלתי מסיס במים, מסיס בבנזן וכלורופורם.יציב תחת טמפרטורה ולחץ רגילים, הימנע מחומצנים חזקים, חומרים דליקים או דליקים.גז לא דליק, הלחץ הפנימי של המיכל יגדל בחשיפה לחום גבוה וקיימת סכנת סדקים ופיצוץ.הוא יציב מבחינה כימית ואינו דליק.רק מגיב מתכת אמוניה-נתרן נוזלי יכול לעבוד בטמפרטורת החדר.פחמן טטרפלואוריד הוא גז הגורם לאפקט החממה.הוא יציב מאוד, יכול להישאר באטמוספרה לאורך זמן, והוא גז חממה חזק מאוד.פחמן טטרפלואוריד משמש בתהליך תחריט פלזמה של מעגלים משולבים שונים.הוא משמש גם כגז לייזר, ומשמש בחומרי קירור בטמפרטורה נמוכה, ממסים, חומרי סיכה, חומרי בידוד ונוזלי קירור לגלאי אינפרא אדום.זהו גז התחריט הפלזמה הנפוץ ביותר בתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה.זוהי תערובת של גז טטרפלואורומתאן בטוהר גבוה וגז טטרפלואורומתאן בטוהר גבוה וחמצן בטוהר גבוה.זה יכול להיות בשימוש נרחב בסיליקון, סיליקון דו חמצני, סיליקון ניטריד וזכוכית פוספוסיליקט.תחריט של חומרי סרט דק כגון טונגסטן וטונגסטן נמצא בשימוש נרחב גם בניקוי פני השטח של מכשירים אלקטרוניים, ייצור תאים סולאריים, טכנולוגיית לייזר, קירור בטמפרטורה נמוכה, בדיקת דליפות ודטרגנט בייצור מעגלים מודפסים.משמש כחומר קירור בטמפרטורה נמוכה וטכנולוגיית תחריט יבש בפלזמה עבור מעגלים משולבים.אמצעי זהירות לאחסון: אחסן במחסן גז לא דליק קריר ומאוורר.הרחק מאש ומקורות חום.טמפרטורת האחסון לא תעלה על 30 מעלות צלזיוס.יש לאחסן אותו בנפרד מחומרי בעירה ומחמצנים קלים (דליקים), ולהימנע מאחסון מעורב.אזור האחסון צריך להיות מצויד בציוד לטיפול חירום בדליפות.

יישום:

① נוזל קירור:

טטרפלואורומתאן משמש לעתים כחומר קירור בטמפרטורה נמוכה.

② תחריט:

הוא משמש בייצור מיקרו-אלקטרוניקה לבד או בשילוב עם חמצן כחומר תחריט פלזמה לסיליקון, סיליקון דו חמצני וסיליקון ניטריד.

חבילה רגילה:

יתרון:

① טוהר גבוה, מתקן עדכני;

②יצרן תעודת ISO;

③ משלוח מהיר;

④מערכת ניתוח מקוונת לבקרת איכות בכל שלב;

⑤ דרישה גבוהה ותהליך קפדני לטיפול בצילינדר לפני המילוי;