מה זהפחמן טטרפלואוריד? מה התועלת?
פחמן טטרפלואוריד, הידוע גם כ-tetrafluoromethane, נחשב כתרכובת אנאורגנית. הוא משמש בתהליך תחריט פלזמה של מעגלים משולבים שונים, ומשמש גם כגז לייזר וקירור. הוא יציב יחסית בטמפרטורה ולחץ רגילים, אך יש צורך להימנע ממגע עם חומרים מחמצנים חזקים, חומרים דליקים או דליקים. פחמן טטרפלואוריד הוא גז שאינו דליק. אם הוא ייתקל בחום גבוה, זה יגרום ללחץ הפנימי של המיכל לעלות, וקיימת סכנת סדקים ופיצוץ. בדרך כלל זה יכול לקיים אינטראקציה רק עם מגיב מתכת אמוניה-נתרן נוזלי בטמפרטורת החדר.
פחמן טטרפלואורידהוא כיום גז תחריט הפלזמה הגדול ביותר המשמש בתעשיית המיקרו-אלקטרוניקה. זה יכול להיות בשימוש נרחב בתחריט של סיליקון, סיליקון דו חמצני, זכוכית פוספוסיליקט וחומרי סרט דק אחרים, ניקוי פני השטח של מכשירים אלקטרוניים, ייצור תאים סולאריים, טכנולוגיית לייזר, בידוד פאזי גז, קירור בטמפרטורה נמוכה, סוכני איתור דליפות, ולחומרי ניקוי בייצור מעגלים מודפסים יש מספר רב של יישומים.
זמן פרסום: נובמבר-01-2021
