מהו פחמן טטראפלואוריד? מה השימוש בו?

מה זהפחמן טטרה-פלואורידמה התועלת?

פחמן טטרה-פלואורידפחמן טטראפלואוריד, הידוע גם כטטראפלואורומתאן, נחשב לתרכובת אנאורגנית. הוא משמש בתהליך איכול פלזמה של מעגלים משולבים שונים, ומשמש גם כגז לייזר ומקרר. הוא יציב יחסית תחת טמפרטורה ולחץ רגילים, אך יש להימנע ממגע עם מחמצנים חזקים, חומרים דליקים או דליקים. פחמן טטראפלואוריד הוא גז שאינו דליק. אם הוא נתקל בחום גבוה, הוא יגרום ללחץ הפנימי של המיכל להגביר, וקיימת סכנה של סדקים ופיצוץ. בדרך כלל הוא יכול לתקשר רק עם ריאגנט נוזלי של מתכת אמוניה-נתרן בטמפרטורת החדר.

פחמן טטרה-פלואורידהוא כיום גז האיכול בפלזמה הגדול ביותר המשמש בתעשיית המיקרואלקטרוניקה. ניתן להשתמש בו באופן נרחב באיכול של סיליקון, סיליקון דיאוקסיד, זכוכית פוספוסיליקט וחומרי שכבה דקה אחרים, ניקוי פני השטח של מכשירים אלקטרוניים, ייצור תאים סולאריים, טכנולוגיית לייזר, בידוד פאזה גזית, קירור בטמפרטורה נמוכה, חומרי גילוי דליפות וחומרי ניקוי בייצור מעגלים מודפסים בעלי מספר רב של יישומים.