אֶלֶקטרוֹנִיגזים מיוחדיםהם ענף חשוב של גזים מיוחדים. הם חודרים כמעט לכל קישור לייצור מוליכים למחצה והם חומרי גלם הכרחיים לייצור תעשיות אלקטרוניות כמו מעגלים משולבים אולטרה-גדולים, מכשירי תצוגה של לוח שטוח ותאים סולאריים.

בטכנולוגיית מוליכים למחצה, גזים המכילים פלואור נמצאים בשימוש נרחב. נכון לעכשיו, בשוק הגז האלקטרוני העולמי, גזים אלקטרוניים המכילים פלואור מהווים כ- 30% מהסך הכל. גזים אלקטרוניים המכילים פלואור הם רכיב חשוב בגזים אלקטרוניים מיוחדים בתחום חומרי מידע אלקטרוניים. הם משמשים בעיקר כסוכני ניקוי וכחומרי תחריט, ויכולים לשמש גם כסופרים, חומרים יוצרי סרטים וכו 'במאמר זה, ייקח לך המחבר להבין את הגזים המכילים פלואור הנפוצים.

להלן גזים המכילים פלואור לרוב

טריפלואוריד חנקן (NF3): גז המשמש לניקוי והסרת מרבצים, המשמש בדרך כלל לניקוי תאי תגובה ומשטחי ציוד.

Hexafluoride גופרית (SF6): חומר פלואוריניני המשמש בתהליכי תמצית תחמוצת וכגז מבודד למילוי מדיה מבודדת.

פלואוריד מימן (HF): משמש להסרת תחמוצות משטח הסיליקון וכקנטה לתחריט סיליקון וחומרים אחרים.

פלואוריד חנקן (NF): משמש לחומרים תחריט כמו סיליקון ניטריד (SIN) ואלומיניום ניטריד (ALN).

Trifluoromethane (CHF3) ו-tetrafluoromethane (CF4): משמש לחתיכת חומרים פלואוריד כמו פלואוריד סיליקון ואלומיניום פלואוריד.

עם זאת, לגזים המכילים פלואור יש סכנות מסוימות, כולל רעילות, קורוזיות ודליקות.

רַעֲלָנוּת

כמה גזים המכילים פלואור רעילים, כמו פלואוריד מימן (HF), שהאדים שלהם מעצבנים מאוד לעור ולדרכי הנשימה ומזיק לבריאות האדם.

קורוזיביות

פלואוריד מימן וכמה פלואורידים הם מאכלים מאוד ויכולים לגרום נזק קשה לעור, לעיניים ובדרכי הנשימה.

דְלִיקוּת

חלק מהפלואורידים דליקים ומגיבים עם חמצן או מים באוויר כדי לשחרר חום עז וגזים רעילים, העלולים לגרום לאש או פיצוץ.

סכנה בלחץ גבוה

גזים פלואוריים מסוימים נפיצים בלחץ גבוה ודורשים טיפול מיוחד כאשר משתמשים בו ומאוחסנים.

השפעה על הסביבה

לגזים המכילים פלואור יש תקופות חיים אטמוספריות גבוהות וערכי GWP, שיש להם השפעה הרסנית על שכבת האוזון האטמוספרי ועלולים לגרום להתחממות כדור הארץ וזיהום סביבתי.

יישום הגזים בשדות מתעוררים כמו אלקטרוניקה ממשיך להעמיק, ומביא כמות גדולה של ביקוש חדש לגזים תעשייתיים. בהתבסס על הכמות הגדולה של כושר הייצור החדש של רכיבים אלקטרוניים עיקריים כמו מוליכים למחצה ופאנלים לתצוגה בסין היבשתית בשנים הקרובות, כמו גם הביקוש החזק להחלפת יבוא של חומרים כימיים אלקטרוניים, תעשיית הגז האלקטרוני המקומי תביא לקצב צמיחה גבוה.