אֶלֶקטרוֹנִיגזים מיוחדיםהם ענף חשוב של גזים מיוחדים. הם חודרים כמעט לכל חוליה של ייצור מוליכים למחצה ומהווים חומרי גלם הכרחיים לייצור של תעשיות אלקטרוניות כגון מעגלים משולבים בקנה מידה גדול במיוחד, התקני תצוגה שטוחים ותאים סולאריים.

בטכנולוגיית מוליכים למחצה, נעשה שימוש נרחב בגזים המכילים פלואור. נכון להיום, בשוק הגז האלקטרוני העולמי, גזים אלקטרוניים המכילים פלואור מהווים כ-30% מהכלל. גזים אלקטרוניים המכילים פלואור הם מרכיב חשוב בגזים אלקטרוניים מיוחדים בתחום חומרי המידע האלקטרוניים. הם משמשים בעיקר כחומרי ניקוי וחומרי תחריט, ויכולים לשמש גם כחומרי ספיגה, חומרים יוצרים סרטים וכו'. במאמר זה, המחבר ייקח אתכם להבין את הגזים הנפוצים המכילים פלואור.

להלן גזים המכילים פלואור נפוצים

חנקן טריפלואוריד (NF3): גז המשמש לניקוי והסרת משקעים, המשמש בדרך כלל לניקוי תאי תגובה ומשטחי ציוד.

גופרית הקספלואוריד (SF6): חומר פלואור המשמש בתהליכי שקיעת תחמוצת וכגז מבודד למילוי חומרי בידוד.

מימן פלואוריד (HF): משמש להסרת תחמוצות ממשטח הסיליקון וכחומר תחריט לחריטת סיליקון וחומרים אחרים.

חנקן פלואוריד (NF): משמש לחריטת חומרים כגון סיליקון ניטריד (SiN) ואלומיניום ניטריד (AlN).

Trifluoromethane (CHF3) וטטרפלואורומתאן (CF4): משמש לחריטת חומרים פלואוריד כגון סיליקון פלואוריד ופלואוריד אלומיניום.

עם זאת, לגזים המכילים פלואור יש סכנות מסוימות, כולל רעילות, קורוזיביות ודליקות.

רַעֲלָנוּת

חלק מהגזים המכילים פלואור הם רעילים, כמו מימן פלואוריד (HF), שהאדים שלו מגרים מאוד את העור ודרכי הנשימה ומזיקים לבריאות האדם.

קורוזיביות

מימן פלואוריד וחלק מהפלואורידים הם מאכלים מאוד ועלולים לגרום לנזק חמור לעור, לעיניים ולדרכי הנשימה.

דְלִיקוּת

חלק מהפלואורידים דליקים ומגיבים עם חמצן או מים באוויר כדי לשחרר חום עז וגזים רעילים, שעלולים לגרום לשריפה או פיצוץ.

סכנה בלחץ גבוה

חלק מהגזים המופלרים הם חומר נפץ בלחץ גבוה ודורשים טיפול מיוחד בשימוש ובאחסון.

השפעה על הסביבה

לגזים המכילים פלואור יש אורך חיים אטמוספרי גבוה וערכי GWP, אשר משפיעים הרסנית על שכבת האוזון האטמוספירית ועלולים לגרום להתחממות כדור הארץ ולזיהום סביבתי.

היישום של גזים בתחומים מתפתחים כמו אלקטרוניקה ממשיך להעמיק, ומביא לכמות גדולה של ביקוש חדש לגזים תעשייתיים. בהתבסס על הכמות הגדולה של כושר הייצור החדש של רכיבים אלקטרוניים עיקריים כגון מוליכים למחצה ופאנלי תצוגה ביבשת סין בשנים הקרובות, כמו גם הביקוש החזק להחלפת יבוא של חומרים כימיים אלקטרוניים, תעשיית הגז האלקטרוני המקומית תוביל קצב צמיחה גבוה.