אֶלֶקטרוֹנִיגזים מיוחדיםהם ענף חשוב של גזים מיוחדים. הם חודרים כמעט לכל חוליה בייצור מוליכים למחצה והם חומרי גלם הכרחיים לייצור תעשיות אלקטרוניות כגון מעגלים משולבים בקנה מידה גדול במיוחד, התקני תצוגה שטוחים ותאים סולאריים.

בטכנולוגיית מוליכים למחצה, גזים המכילים פלואור נמצאים בשימוש נרחב. כיום, בשוק הגז האלקטרוני העולמי, גזים אלקטרוניים המכילים פלואור מהווים כ-30% מכלל הגזים. גזים אלקטרוניים המכילים פלואור הם מרכיב חשוב בגזים אלקטרוניים מיוחדים בתחום חומרי מידע אלקטרוניים. הם משמשים בעיקר כחומרי ניקוי וחומרי איכול, וניתן להשתמש בהם גם כחומרי מילוי, חומרים ליצירת סרטים וכו'. במאמר זה, המחבר ייקח אתכם להבין את הגזים הנפוצים המכילים פלואור.

להלן גזים נפוצים המכילים פלואור

חנקן טריפלואוריד (NF3): גז המשמש לניקוי והסרת משקעים, משמש בדרך כלל לניקוי תאי תגובה ומשטחי ציוד.

גופרית הקספלואוריד (SF6): חומר פלואורינציה המשמש בתהליכי שקיעת תחמוצת וכגז מבודד למילוי חומרי בידוד.

מימן פלואוריד (HF): משמש להסרת תחמוצות מפני השטח של הסיליקון וכחומר חריטה לחריטת סיליקון וחומרים אחרים.

חנקן פלואוריד (NF): משמש לחריטה של ​​חומרים כגון סיליקון ניטריד (SiN) ואלומיניום ניטריד (AlN).

טריפלואורומתן (CHF3) וטטראפלואורומתאן (CF4)משמש לחריטת חומרים פלואורידים כגון סיליקון פלואוריד ופלואוריד אלומיניום.

עם זאת, גזים המכילים פלואור טומנים בחובם סכנות מסוימות, כולל רעילות, קורוזיה ודליקות.

רַעֲלָנוּת

חלק מהגזים המכילים פלואור הם רעילים, כגון מימן פלואוריד (HF), שאדיו מגרים מאוד את העור ודרכי הנשימה ומזיקים לבריאות האדם.

קורוזיביות

מימן פלואוריד וחלק מהפלואורידים הם קורוזיביים ביותר ויכולים לגרום נזק חמור לעור, לעיניים ולדרכי הנשימה.

דְלִיקוּת

חלק מהפלואורידים דליקים ומגיבים עם חמצן או מים באוויר לשחרור חום עז וגזים רעילים, העלולים לגרום לשריפה או פיצוץ.

סכנת לחץ גבוה

חלק מהגזים המכילים פלואור הם נפיצים בלחץ גבוה ודורשים זהירות מיוחדת בעת השימוש והאחסון.

השפעה על הסביבה

לגזים המכילים פלואור אורך חיים אטמוספרי וערכי GWP גבוהים, אשר משפיעים על שכבת האוזון באטמוספירה ועלולים לגרום להתחממות כדור הארץ ולזיהום סביבתי.

השימוש בגזים בתחומים מתפתחים כמו אלקטרוניקה ממשיך להעמיק, מה שמביא ביקוש רב לגזים תעשייתיים. בהתבסס על כושר הייצור הרב של רכיבים אלקטרוניים עיקריים כמו מוליכים למחצה ולוחות תצוגה בסין היבשתית בשנים הקרובות, כמו גם הביקוש החזק לתחליפי יבוא של חומרים כימיים אלקטרוניים, תעשיית הגז האלקטרוני המקומית תביא לקצב צמיחה גבוה.