Tungsten hexafluoride (WF6) מופקד על פני השטח של הוופל בתהליך CVD, ממלא את תעלות הקשר המתכת ויוצר את חיבור המתכת בין שכבות.
בואו נדבר קודם על פלזמה. פלזמה היא סוג של חומר המורכב בעיקר מאלקטרונים חופשיים ויונים טעונים. זה קיים באופן נרחב ביקום ולעתים קרובות נחשב למצב הרביעי של החומר. זה נקרא מצב הפלזמה, המכונה גם "פלזמה". לפלזמה מוליכות חשמלית גבוהה ויש לה אפקט צימוד חזק עם שדה אלקטרומגנטי. זהו גז מיונן חלקית, המורכב מאלקטרונים, יונים, רדיקלים חופשיים, חלקיקים ניטרליים ופוטונים. הפלזמה עצמה היא תערובת ניטרלית חשמלית המכילה חלקיקים פעילים פיזית וכימית.
ההסבר הפשוט הוא שתחת פעולה של אנרגיה גבוהה, המולקולה תתגבר על כוח ואן דר וואלס, כוח הקשר הכימי וכוח קולומב, ותציג סוג של חשמל ניטרלי בכללותו. במקביל, האנרגיה הגבוהה המונחת על ידי החוץ מתגברת על שלושת הכוחות לעיל. פונקציה, אלקטרונים ויונים מציגים מצב חופשי, שניתן להשתמש בו באופן מלאכותי תחת אפנון של שדה מגנטי, כמו תהליך תחריט מוליכים למחצה, תהליך CVD, תהליך PVD ו- IMP.
מהי אנרגיה גבוהה? בתיאוריה, ניתן להשתמש הן בטמפרטורה גבוהה והן ב- RF בתדר גבוה. באופן כללי, כמעט בלתי אפשרי להשיג טמפרטורה גבוהה. דרישת טמפרטורה זו גבוהה מדי ועשויה להיות קרובה לטמפרטורת השמש. בעיקרון אי אפשר להשיג בתהליך. לכן, התעשייה משתמשת בדרך כלל ב- RF בתדר גבוה כדי להשיג זאת. RF פלזמה יכול להגיע לגובה של 13 מגהרץ+.
Tungsten Hexafluoride מונה פלזית תחת פעולה של שדה חשמלי, ואז מוטל על ידי אדים על ידי שדה מגנטי. אטומי W דומים לנוצות אווז חורפיות ונופלות על האדמה תחת פעולת הכובד. לאט לאט, אטומי W מופקדים לחורים דרך, ולבסוף מלאים דרך חורים ליצירת חיבורי מתכת. בנוסף להפקיד אטומי W בחורים דרך, האם הם יופקדו גם על פני הוופל? כן, בהחלט. באופן כללי, אתה יכול להשתמש בתהליך W-CMP, וזה מה שאנחנו מכנים תהליך השחיקה המכני להסרה. זה דומה לשימוש במטאטא כדי לטאטא את הרצפה לאחר שלג כבד. השלג על האדמה נסחף, אך השלג שבחור על האדמה יישאר. למטה, בערך אותו דבר.
זמן ההודעה: דצמבר -4-2021
