הגז האלקטרוני המיוחד הנפוץ ביותר - חנקן טריפלואוריד

גזים אלקטרוניים מיוחדים נפוצים המכילים פלואור כולליםגופרית הקספלואוריד (SF6), טונגסטן הקספלואוריד (WF6),פחמן טטרפלואוריד (CF4), טריפלואורומתאן (CHF3), חנקן טריפלואוריד (NF3), הקספלואורואתאן (C2F6) ואוקטפלואורופרופן (C3F8).

עם התפתחות הננוטכנולוגיה והפיתוח בקנה מידה גדול של תעשיית האלקטרוניקה, הביקוש שלה יגדל מיום ליום. חנקן טריפלואוריד, כגז אלקטרוני מיוחד חיוני והכי בשימוש בייצור ועיבוד של לוחות ומוליכים למחצה, יש מרחב שוק רחב.

כסוג של גז מיוחד המכיל פלואור,חנקן טריפלואוריד (NF3)הוא מוצר הגז המיוחד האלקטרוני עם קיבולת השוק הגדולה ביותר. הוא אינרטי מבחינה כימית בטמפרטורת החדר, פעיל יותר מחמצן בטמפרטורה גבוהה, יציב יותר מפלואור וקל לטיפול. חנקן טריפלואוריד משמש בעיקר כגז תחריט פלזמה וכחומר ניקוי תאי תגובה, והוא מתאים לתחומי הייצור של שבבי מוליכים למחצה, צגים שטוחים, סיבים אופטיים, תאים פוטו-וולטאיים וכו'.

בהשוואה לגזים אלקטרוניים אחרים המכילים פלואור,חנקן טריפלואורידיש את היתרונות של תגובה מהירה ויעילות גבוהה. במיוחד בתחריט של חומרים המכילים סיליקון כמו סיליקון ניטריד, יש לו קצב צריבה וסלקטיביות גבוהים, ואינו משאיר שאריות על פני האובייקט החרוט. זה גם חומר ניקוי טוב מאוד ואין לו זיהום על פני השטח, שיכול לענות על הצרכים של תהליך העיבוד.