הגז המיוחד האלקטרוני המשומש ביותר - טריפלואוריד חנקן

גזים אלקטרוניים מיוחדים המכילים פלואורין נפוצים כולליםhexafluoride גופרית (SF6), טונגסטן הקספלואוריד (WF6),פחמן טטראפלואוריד (CF4), Trifluoromethane (CHF3), Trifluoride חנקן (NF3), hexafluoroethane (C2F6) ו- Octafluoropropane (C3F8).

עם פיתוח ננו-טכנולוגיה ופיתוח בקנה מידה גדול של ענף האלקטרוניקה, הביקוש שלה יגדל מיום ליום. לטריפלואוריד חנקן, כגז אלקטרוני מיוחד חיוני והגדול ביותר בייצור ועיבוד של לוחות ומוליכים למחצה, יש מרחב שוק רחב.

כסוג של גז מיוחד המכיל פלואור,טריפלואוריד חנקן (NF3)הוא מוצר הגז האלקטרוני המיוחד עם יכולת השוק הגדולה ביותר. הוא אינרטי כימית בטמפרטורת החדר, פעיל יותר מחמצן בטמפרטורה גבוהה, יציב יותר מאשר פלואור וקל לטיפול. טריפלואוריד חנקן משמש בעיקר כגז תחריט פלזמה וכחומר ניקוי תא תגובה, ומתאים לשדות הייצור של שבבי מוליכים למחצה, תצוגות לוח שטוחות, סיבים אופטיים, תאים פוטו -וולטאיים וכו '.

לעומת גזים אלקטרוניים אחרים המכילים פלואור,טריפלואוריד חנקןיש את היתרונות של תגובה מהירה ויעילות גבוהה. במיוחד בתחריט של חומרים המכילים סיליקון כמו סיליקון ניטריד, יש לו קצב תחריט גבוה וסלקטיביות, ולא משאירים שאריות על פני האובייקט החרוט. זהו גם חומר ניקוי טוב מאוד ואין לו זיהום לפני השטח, שיכול לענות על צרכי תהליך העיבוד.