הגז המיוחד האלקטרוני הנפוץ ביותר - חנקן טריפלואוריד

גזים אלקטרוניים מיוחדים נפוצים המכילים פלואור כולליםגופרית הקספלואוריד (SF6), טונגסטן הקספלואוריד (WF6),פחמן טטראפלואוריד (CF4), טריפלואורומתאן (CHF3), חנקן טריפלואוריד (NF3), הקספלואורואתאן (C2F6) ואוקטפלואורופרופאן (C3F8).

עם התפתחות הננוטכנולוגיה והפיתוח בקנה מידה גדול של תעשיית האלקטרוניקה, הביקוש לה יגדל מיום ליום. חנקן טריפלואוריד, כגז אלקטרוני מיוחד הכרחי והנפוץ ביותר בייצור ועיבוד של פאנלים ומוליכים למחצה, מחזיק בשוק רחב.

כסוג של גז מיוחד המכיל פלואור,חנקן טריפלואוריד (NF3)הוא מוצר הגז המיוחד האלקטרוני בעל קיבולת השוק הגדולה ביותר. הוא אינרטי מבחינה כימית בטמפרטורת החדר, פעיל יותר מחמצן בטמפרטורה גבוהה, יציב יותר מפלואור וקל לטיפול. חנקן טריפלואוריד משמש בעיקר כגז איכול פלזמה וחומר ניקוי תאי תגובה, והוא מתאים לתחומי הייצור של שבבי מוליכים למחצה, צגים שטוחים, סיבים אופטיים, תאים פוטו-וולטאיים וכו'.

בהשוואה לגזים אלקטרוניים אחרים המכילים פלואור,חנקן טריפלואורידיש לו יתרונות של תגובה מהירה ויעילות גבוהה. במיוחד באיכול של חומרים המכילים סיליקון כמו סיליקון ניטריד, יש לו קצב איכול וסלקטיביות גבוהים, ואינו משאיר שאריות על פני השטח של האובייקט האיכול. זהו גם חומר ניקוי טוב מאוד ואינו מזהם את פני השטח, מה שיכול לענות על צרכי תהליך העיבוד.