תוכנית ההחלפה המקומית של גז מיוחד אלקטרוני הואצה בצורה כוללת!

בשנת 2018, שוק הגז האלקטרוני העולמי למעגלים משולבים הגיע ל-4.512 מיליארד דולר, עלייה של 16% משנה לשנה. קצב הצמיחה הגבוה של תעשיית הגז המיוחד האלקטרוני עבור מוליכים למחצה וגודל השוק העצום האיצו את תוכנית ההחלפה המקומית של גז מיוחד אלקטרוני!

מהו גז אלקטרונים?

גז אלקטרוני מתייחס לחומר המקור הבסיסי המשמש בייצור של מוליכים למחצה, צגים שטוחים, דיודות פולטות אור, תאים סולאריים ומוצרים אלקטרוניים אחרים, והוא נמצא בשימוש נרחב בניקוי, תחריט, יצירת סרט, סימום ותהליכים אחרים. תחומי היישום העיקריים של גז אלקטרוני כוללים את תעשיית האלקטרוניקה, תאים סולאריים, תקשורת סלולרית, ניווט לרכב ומערכות שמע ווידאו לרכב, תעופה וחלל, תעשייה צבאית ותחומים רבים נוספים.

ניתן לחלק את הגז המיוחד האלקטרוני לשבע קטגוריות לפי ההרכב הכימי שלו: סיליקון, ארסן, זרחן, בורון, מתכת הידריד, הליד ואלקוקסיד מתכת. על פי שיטות יישום שונות במעגלים משולבים, ניתן לחלק אותו לגז סימום, גז אפיטקסי, גז השתלת יונים, גז דיודה פולטת אור, גז תחריט, גז שקיעת אדים כימי וגז איזון. ישנם יותר מ-110 יחידות גזים מיוחדים המשמשים בתעשיית המוליכים למחצה, מתוכם יותר מ-30 נמצאים בשימוש נפוץ.

בדרך כלל, תעשיית ייצור המוליכים למחצה מחלקת גזים לשני סוגים: גזים נפוצים וגזים מיוחדים. ביניהם, הגז הנפוץ מתייחס לאספקה ​​מרכזית ועושה שימוש רב בגז, כגון N2, H2, O2, Ar, He וכו'. גז מיוחד מתייחס לכמה גזים כימיים המשמשים בתהליך ייצור מוליכים למחצה, כגון הארכה, הזרקת יונים, מיזוג, שטיפה ויצירת מסכה, שזה מה שאנו מכנים כיום גז מיוחד אלקטרוני, כגון SiH4, PH3, AsH3, B2H6 בטוהר גבוה, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 וכו'.

בכל תהליך הייצור של תעשיית המוליכים למחצה, מגידול שבבים ועד אריזת המכשיר הסופית, כמעט כל חוליה אינה ניתנת להפרדה מגז מיוחד אלקטרוני, וממגוון הגז המשמש ודרישות האיכות הגבוהות, ולכן לגז אלקטרוני יש חומרים מוליכים למחצה. "מָזוֹן".

בשנים האחרונות, הרכיבים האלקטרוניים העיקריים של סין כמו מוליכים למחצה ופאנלי תצוגה גדלו בכושר ייצור חדש, ויש ביקוש חזק להחלפת ייבוא ​​של חומרים כימיים אלקטרוניים. מיקומם של גזים אלקטרוניים בתעשיית המוליכים למחצה נעשה בולט יותר ויותר. תעשיית הגז האלקטרוני המקומי תביא לצמיחה מהירה.

לגז מיוחד אלקטרוני יש דרישות גבוהות מאוד לטוהר, מכיוון שאם הטוהר אינו עומד בדרישות, קבוצות הטומאה כגון אדי מים וחמצן בגז המיוחד האלקטרוני יווצרו בקלות סרט תחמוצת על פני המוליך למחצה, מה שמשפיע על חיי השירות של מכשירים אלקטרוניים, והגז המיוחד האלקטרוני מכיל חלקיקי זיהומים עלולים לגרום לקצרים של מוליכים למחצה ולנזק למעגלים. ניתן לומר כי לשיפור הטוהר תפקיד חיוני בתפוקה ובביצועים של ייצור מכשירים אלקטרוניים.

עם ההתפתחות המתמשכת של תעשיית המוליכים למחצה, תהליך ייצור השבבים ממשיך להשתפר, וכעת הוא הגיע ל-5 ננומטר, שעומד להתקרב לגבול חוק מור, השווה לאחד עשרים מקוטר שערה אנושית ( בערך 0.1 מ"מ). לכן, זה גם מציב דרישות גבוהות יותר על טוהר הגז המיוחד האלקטרוני המיוצר על ידי מוליכים למחצה.