תוכנית ההחלפה הביתית של גז מיוחד אלקטרוני הואצה בצורה מקיפה!

בשנת 2018, שוק הגז האלקטרוני העולמי למעגלים משולבים הגיע ל-4.512 מיליארד דולר, עלייה שנתית של 16%. קצב הצמיחה הגבוה של תעשיית הגז האלקטרוני המיוחד למוליכים למחצה וגודל השוק העצום האיצו את תוכנית ההחלפה המקומית של גז אלקטרוני מיוחד!

מהו גז אלקטרונים?

גז אלקטרוני מתייחס לחומר המקור הבסיסי המשמש לייצור מוליכים למחצה, צגים שטוחים, דיודות פולטות אור, תאים סולאריים ומוצרים אלקטרוניים אחרים, והוא נמצא בשימוש נרחב בניקוי, איכול, יצירת שכבות, סימום ותהליכים אחרים. תחומי היישום העיקריים של גז אלקטרוני כוללים את תעשיית האלקטרוניקה, תאים סולאריים, תקשורת סלולרית, ניווט לרכב ומערכות שמע ווידאו לרכב, תעופה וחלל, תעשייה צבאית ותחומים רבים אחרים.

ניתן לחלק גז מיוחד אלקטרוני לשבע קטגוריות לפי הרכבו הכימי: סיליקון, ארסן, זרחן, בורון, הידריד מתכת, הליד ואלקוקסיד מתכת. לפי שיטות יישום שונות במעגלים משולבים, ניתן לחלק אותו לגז סימום, גז אפיטקסיה, גז השתלת יונים, גז דיודה פולטת אור, גז איכול, גז שקיעת אדים כימית וגז איזון. ישנם יותר מ-110 יחידות גז מיוחדות המשמשות בתעשיית המוליכים למחצה, מתוכן יותר מ-30 נפוצות.

באופן כללי, תעשיית ייצור המוליכים למחצה מחלקת גזים לשני סוגים: גזים רגילים וגזים מיוחדים. ביניהם, הגז הנפוץ מתייחס לאספקה ​​מרכזית ומשתמש בכמות גדולה של גז, כגון N2, H2, O2, Ar, He וכו'. גז מיוחד מתייחס לכמה גזים כימיים המשמשים בתהליך ייצור המוליכים למחצה, כגון הארכה, הזרקת יונים, ערבוב, שטיפה ויצירת מסכה, וזה מה שאנו מכנים כיום גז מיוחד אלקטרוני, כגון SiH4 בעל טוהר גבוה, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 וכו'.

בכל תהליך הייצור של תעשיית המוליכים למחצה, החל מגידול השבבים ועד לאריזת המכשיר הסופית, כמעט כל חוליה אינה ניתנת להפרדה בין גז אלקטרוני מיוחד, מגוון הגזים המשמשים ודרישות האיכות הגבוהות, ולכן לגז אלקטרוני יש חומרי מוליכים למחצה. "מזון".

בשנים האחרונות, כושר הייצור של רכיבים אלקטרוניים עיקריים בסין, כגון מוליכים למחצה ולוחות תצוגה, גדל, ויש ביקוש חזק לתחליפי יבוא של חומרים כימיים אלקטרוניים. מעמדם של גזים אלקטרוניים בתעשיית המוליכים למחצה הפך בולט יותר ויותר. תעשיית גז האלקטרוניקה המקומית תביא לצמיחה מהירה.

לגז אלקטרוני מיוחד יש דרישות טוהר גבוהות מאוד, מכיוון שאם הטוהר אינו עומד בדרישות, קבוצות טומאה כמו אדי מים וחמצן בגז האלקטרוני המיוחד ייצרו בקלות שכבת תחמוצת על פני השטח של מוליך למחצה, דבר המשפיע על חיי השירות של מכשירים אלקטרוניים, וגז אלקטרוני מיוחד מכיל חלקיקי טומאה שעלולים לגרום לקצרים ולנזק למעגלים של מוליכים למחצה. ניתן לומר כי שיפור הטוהר ממלא תפקיד חיוני בתפוקה ובביצועים של ייצור מכשירים אלקטרוניים.

עם ההתפתחות המתמשכת של תעשיית המוליכים למחצה, תהליך ייצור השבבים ממשיך להשתפר, וכעת הוא הגיע ל-5 ננומטר, קרוב לגבול של חוק מור, השווה ערך לעשרים מקוטר שערת אדם (כ-0.1 מ"מ). לכן, הדבר מציב גם דרישות גבוהות יותר לטוהר הגז האלקטרוני המיוחד המיוצר על ידי מוליכים למחצה.