תוכנית ההחלפה המקומית של גז מיוחד אלקטרוני הואצה בצורה כל סיבוב!

בשנת 2018, שוק הגז האלקטרוני העולמי למעגלים משולבים הגיע ל -4.512 מיליארד דולר, עלייה של 16%לשנה. קצב הצמיחה הגבוה של ענף הגז המיוחד האלקטרוני למוליכים למחצה וגודל השוק העצום האיצו את תוכנית ההחלפה המקומית של גז מיוחד אלקטרוני!

מהו גז אלקטרונים?

גז אלקטרוני מתייחס לחומר המקור הבסיסי המשמש בייצור מוליכים למחצה, תצוגות לוח שטוחות, דיודות פולטות אור, תאים סולאריים ומוצרים אלקטרוניים אחרים, והוא נמצא בשימוש נרחב בניקוי, תחריט, היווצרות סרטים, סמים ותהליכים אחרים. תחומי היישום העיקריים של גז אלקטרוני כוללים את תעשיית האלקטרוניקה, תאים סולאריים, תקשורת ניידת, ניווט לרכב ומערכות שמע ווידאו, אוויריור, תעשייה צבאית ותחומים רבים אחרים.

ניתן לחלק גז מיוחד אלקטרוני לשבע קטגוריות בהתאם להרכב הכימי שלו: סיליקון, ארסן, זרחן, בורון, מתכת הידריד, הליד ואלוקוקסיד מתכת. על פי שיטות יישום שונות במעגלים משולבים, ניתן לחלק אותו לגז סמים, גז אפיטקסיה, גז השתלת יונים, גז דיודה פולט קל, גז תחריט, גז תצהיר אדי כימי וגז איזון. ישנם יותר מ -110 גזים מיוחדים של יחידות המשמשים בתעשיית המוליכים למחצה, אשר משתמשים בהם בדרך כלל יותר מ -30.

באופן כללי, ענף הייצור של המוליכים למחצה מחלק גזים לשני סוגים: גזים נפוצים וגזים מיוחדים. ביניהם, הגז הנפוץ מתייחס לאספקה ​​ריכוזית ומשתמש בגזים רבים, כמו N2, H2, O2, AR, הוא וכו '. גז מיוחד מתייחס לכמה גזים כימיים המשמשים בתהליך ייצור מוליכים למחצה, כמו הרחבה, הזרקת יונים, מיזוג, כביסה, ומסיכה, זה מה שאנחנו מכנים כיום גז אלקטרוני, כגון SIH3 PH3, B2H, B2H3, B2H3, B2H3, B2H3, B2H3, B2H3, B23, B23, B23, B23 B23, B23, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 וכו '.

בכל תהליך הייצור של ענף המוליכים למחצה, מצמיחת שבבים ועד אריזת המכשירים הסופית, כמעט כל קישור אינו ניתן להפרדה מגז מיוחד אלקטרוני, ומגוון הדרישות המשומשות והאיכותיות באיכות גבוהה, כך שלגז אלקטרוני יש חומרים מוליכים למחצה. "מָזוֹן".

בשנים האחרונות, הרכיבים האלקטרוניים העיקריים של סין כמו מוליכים למחצה ופאנלים לתצוגה גדלו בכושר הייצור החדש, ויש ביקוש חזק להחלפת יבוא של חומרים כימיים אלקטרוניים. עמדת הגזים האלקטרוניים בתעשיית המוליכים למחצה הפכה לבולטת יותר ויותר. ענף הגז האלקטרוני המקומי יביא לצמיחה מהירה.

לגז מיוחד אלקטרוני יש דרישות גבוהות מאוד לטוהר, מכיוון שאם הטוהר אינו עומד בדרישות, קבוצות הטומאה כמו אדי מים וחמצן בגז המיוחד האלקטרוני ייווצרו בקלות סרט תחמוצת על פני המוליך למחצה, הפוגע בחיי השירות של מכשירים אלקטרוניים, והגז המיוחד האלקטרוני מכיל את החלקיקים של פגמים יכולים לגרום לנזק קצר -מזגרים. ניתן לומר כי שיפור הטוהר ממלא תפקיד חיוני בתשואה ובביצועים של ייצור מכשירים אלקטרוניים.

עם ההתפתחות הרציפה של ענף המוליכים למחצה, תהליך ייצור השבבים ממשיך להשתפר, וכעת הוא הגיע ל- 5 ננומטר, שעומד לגשת לגבול החוק של מור, השווה לאחד העשרים מהקוטר של שיער אנושי (בערך 0.1 מ"מ). לפיכך, הדבר מציב גם דרישות גבוהות יותר לטוהר הגז המיוחד האלקטרוני המיוצר על ידי מוליכים למחצה.