מימן כלורידהוא גז חסר צבע עם ריח חריף. תמיסתו המימית נקראת חומצה הידרוכלורית, המכונה גם חומצה הידרוכלורית. מימן כלוריד מסיס מאוד במים. בטמפרטורה של 0 מעלות צלזיוס, נפח מים אחד יכול להמיס כ -500 נפחים של מימן כלוריד.

יש לו את המאפיינים והמאפיינים הבאים:

1. טוהר גבוה

טוהר הכיתה האלקטרוניתמימן כלורידהוא גבוה מאוד, בדרך כלל ברמה PPM או ברמה התחתונה, כדי להבטיח שלא יוכנסו זיהומים לתהליך הייצור של מוליכים למחצה.

2. אינרטיות

זהו גז אינרטי כימי שאינו מגיב עם חומרים רבים אחרים, וזה מאוד חשוב למנוע זיהום של חומרים וציוד מוליכים למחצה.

3. יציבות גבוהה

ציון אלקטרונימימן כלורידבדרך כלל יש כימיה יציבה כדי להבטיח עיבוד מוליכים למחצה אמין.

בעיבוד מוליכים למחצה, היישומים העיקריים של מימן מימן כלוריד בדרגה אלקטרונית כוללים:

1. ניקוי פני השטח והכנה

כמנקה משטח יעיל, ציון אלקטרונימימן כלורידמשמש להסרת תחמוצות וזיהומים משטח המצע כדי להבטיח את איכות ושיבתו של השכבה או הסרט האפיטקסיאלי.

2. סיוע צמיחה אפיטקסיאלי

זה משמש כחומר טיפול לפני השטח בתהליך האפיטקסיאלי, הוא מסייע בשיפור איכות השכבה האפיטקסיאלית, לשפר את התאמת הסריג ולהפחית את היווצרות מומים בסריג.

3. טיפול מקדים במצע

לפני הכנת מכשירי מוליכים למחצה, כיתה אלקטרוניתמימן כלורידניתן להשתמש בטיפול במשטח המצע ליצירת בסיס יציב כדי לשפר את ההדבקה בין השכבה האפיטקסיאלית למצע.

4. סוכן עזר לתצהיר

בתהליך של תצהיר אדים כימי (CVD) או בתצהיר אדי פיזי (PVD), מימן מימן כלוריד בדרגה אלקטרונית יכול לשמש כמדיום העברת שלב גז כדי להשתתף בתגובת ההפקדה של חומרים מוליכים למחצה.

5. סוכן העברת שלב גז

כחומר העברה בשלב גז, מבשרים גזים אחרים מוצגים לתא התגובה כדי לסייע בהתאם את קצב התצהיר ואחידות החומר.

מאפיינים אלה הופכים ציון אלקטרונימימן כלורידסוכן עיבוד חשוב בטכנולוגיית מוליכים למחצה, שיש לו השפעה מרכזית על הביצועים והאמינות של המכשיר הסופי.

בנוסף לשימושו בעיבוד מוליכים למחצה, מימן כלוריד בדרגה אלקטרונית יכול למצוא מגוון שימושים באזורים אחרים, כולל: הכנת חומרי טוהר גבוהים, תאי דלק, צמיחת חומרים מוליכים למחצה, ליטוגרפיה שלב אדים, ניתוח חומרים, מחקר כימי.

באופן כללי, כיתה אלקטרוניתמימן כלורידהוא גז טוהר רב -תכליתי בעל מגוון רחב של יישומים מחוץ לייצור מוליכים למחצה.