מימן כלוריהוא גז חסר צבע בעל ריח חריף. התמיסה המימית שלו נקראת חומצה הידרוכלורית, הידועה גם כחומצה הידרוכלורית. מימן כלורי מסיס מאוד במים. ב-0°C, נפח אחד של מים יכול להמיס כ-500 נפחים של מימן כלורי.

יש לו את התכונות והמאפיינים הבאים:

1. טוהר גבוה

טוהר הכיתה האלקטרוניתמימן כלוריגבוה מאוד, בדרך כלל ב-ppm או ברמה נמוכה יותר, כדי להבטיח שלא יוכנסו זיהומים לתהליך ייצור המוליכים למחצה.

2. אדישות

זהו גז אינרטי מבחינה כימית שאינו מגיב עם חומרים רבים אחרים, דבר שחשוב מאוד למניעת זיהום של חומרים וציוד מוליכים למחצה.

3. יציבות גבוהה

כיתה אלקטרוניתמימן כלוריבדרך כלל בעל כימיה יציבה כדי להבטיח עיבוד אמין של מוליכים למחצה.

בעיבוד מוליכים למחצה, היישומים העיקריים של מימן כלורי בדרגה אלקטרונית כוללים:

1. ניקוי והכנת משטחים

כמנקה משטחים יעיל, בדרגה אלקטרוניתמימן כלורימשמש להסרת תחמוצות וזיהומים מפני השטח של המצע כדי להבטיח את האיכות והטוהר של השכבה או הסרט האפיטקסיאלי.

2. סיוע לגדילה אפיטקסיאלית

משמש כחומר לטיפול פני השטח בתהליך האפיטקסיאלי, הוא מסייע בשיפור איכות השכבה האפיטקסיאלית, בשיפור התאמת הסריג ובצמצום היווצרות פגמי סריג.

3. טיפול מקדים למצע

לפני הכנת התקני מוליכים למחצה, כיתה אלקטרוניתמימן כלוריניתן להשתמש בו לטיפול במשטח המצע ליצירת בסיס יציב לשיפור ההידבקות בין השכבה האפיטקסיאלית למצע.

4. חומר עזר לשקיעה

בתהליך של שקיעת אדים כימית (CVD) או שקיעת אדים פיזיקלית (PVD), ניתן להשתמש במימן כלורי בדרגה אלקטרונית כמדיום העברת פאזה גזית כדי להשתתף בתגובת השקיעה של חומרי מוליכים למחצה.

5. חומר העברת פאזה גזית

כחומר להעברת פאזה גזית, מוחדרים חומרים גזיים אחרים לתא התגובה כדי לסייע בהתאמת קצב השיקוע והאחידות של החומר.

מאפיינים אלה הופכים את הדירוג האלקטרונימימן כלוריחומר עיבוד חשוב בטכנולוגיית מוליכים למחצה, אשר בעל השפעה מרכזית על הביצועים והאמינות של המכשיר הסופי.

בנוסף לשימושו בעיבוד מוליכים למחצה, מימן כלורי בדרגה אלקטרונית יכול למצוא מגוון שימושים בתחומים אחרים, כולל: הכנת חומרים בעלי טוהר גבוה, תאי דלק, גידול חומרי מוליכים למחצה, ליתוגרפיה בשלב אדים, ניתוח חומרים, מחקר כימי.

באופן כללי, כיתה אלקטרוניתמימן כלוריהוא גז רב-תכליתי ובעל טוהר גבוה, בעל מגוון רחב של יישומים מחוץ לייצור מוליכים למחצה.