בורון טריכלוריד (BCL3)הוא תרכובת אורגנית הנפוצה בתהליכי תחריט יבש ותמצית אדים כימיים (CVD) בייצור מוליכים למחצה. זהו גז חסר צבע עם ריח חריף חזק בטמפרטורת החדר והוא רגיש לאוויר לח מכיוון שהוא הידרוליזה לייצור חומצה הידרוכלורית וחומצה בורית.

יישומים של בורון טריכלוריד

בענף המוליכים למחצה,בורון טריכלורידמשמש בעיקר לתחריט יבש של אלומיניום וכסמים ליצירת אזורים מסוג P על פליקי הסיליקון. זה יכול לשמש גם לתחריט חומרים כמו GAAS, SI, ALN וכמקור בורון ביישומים ספציפיים מסוימים. בנוסף, בורון טריכלוריד נמצא בשימוש נרחב בעיבוד מתכות, תעשיית זכוכית, ניתוח כימי ומחקר מעבדה.

בטיחות בורון טריכלוריד

בורון טריכלורידהוא מאכל ורעיל ויכול לגרום נזק קשה לעיניים ובעור. זה הידרוליזה באוויר לח כדי לשחרר גז מימן כלוריד רעיל. לכן יש לנקוט אמצעי בטיחות מתאימים בעת הטיפולבורון טריכלוריד, כולל לבישת בגדי מגן, משקפי משקפיים וציוד הגנה על הנשימה, ופעילות בסביבה מאווררת היטב.