בורון טריכלוריד (BCl3)הוא תרכובת אנאורגנית הנפוצה בתהליכי איכול יבש ושקיעת אדים כימית (CVD) בייצור מוליכים למחצה. זהו גז חסר צבע בעל ריח חריף חזק בטמפרטורת החדר והוא רגיש לאוויר לח מכיוון שהוא עובר הידרוליזה ליצירת חומצה הידרוכלורית וחומצה בורית.

יישומים של בורון טריכלוריד

בתעשיית המוליכים למחצה,בורון טריכלורידמשמש בעיקר לאכלוט יבש של אלומיניום וכדופנט ליצירת אזורים מסוג P על פרוסות סיליקון. ניתן להשתמש בו גם לאכלוט חומרים כגון GaAs, Si, AlN, וכמקור בורון ביישומים ספציפיים מסוימים. בנוסף, בורון טריכלוריד נמצא בשימוש נרחב בעיבוד מתכות, תעשיית הזכוכית, אנליזה כימית ומחקר מעבדתי.

בטיחות של בורון טריכלוריד

בורון טריכלורידהוא חומר קורוזיבי ורעיל ויכול לגרום נזק חמור לעיניים ולעור. הוא עובר הידרוליזה באוויר לח ומשחרר גז מימן כלורי רעיל. לכן, יש לנקוט באמצעי בטיחות מתאימים בעת הטיפול.בורון טריכלוריד, כולל לבישת ביגוד מגן, משקפי מגן וציוד הגנה נשימתי, ופעולה בסביבה מאווררת היטב.